Pengembangan resonator mikro-optik toroidal poligonal.

Di Laboratorium Tanabe, resonator mikro-optik silicatroid yang secara kuat mengurung cahaya telah direalisasikan dalam geometri poligonal. Struktur dibuat dengan kombinasi etsa isotropik, etsa anisotropik dan laser reflow, dan telah berkembang ke tahap di mana pengukuran dilakukan.

Resonator silicatroid konvensional memiliki performa yang sangat tinggi, tetapi bentuknya yang melingkar menyulitkan untuk mengontrol efisiensi kopling dengan serat meruncing. Resonator silicatroid segi delapan yang baru dikembangkan dapat diharapkan memiliki efisiensi kopling yang stabil karena panjang koplingnya yang panjang, dan sudut-sudutnya yang halus memastikan kinerja yang tinggi. Kopling yang stabil merupakan faktor penting untuk aplikasi praktis seperti sisir frekuensi optik dan deteksi partikel menggunakan resonator silicatroid.

Dalam penelitian ini, (1) etsa anisotropik KOH (kalium hidroksida) digunakan sebagai etsa lapisan pengorbanan silikon dan dikombinasikan dengan etsa isotropik untuk membuat struktur (Gbr. 1); Analisis FDTD dilakukan dan Q = 8,8 × 106 diperoleh. Ditemukan juga bahwa efisiensi pengikatan dapat dikontrol dengan menggunakan bagian tepi dan sudut yang berbeda (Gbr. 2).

Sebagian dari penelitian ini didanai oleh Program Promosi Litbang Informasi dan Komunikasi Strategis (SCOPE). Penelitian ini juga didukung oleh Hibah Penelitian Sains dan Teknologi Toray dan Program Promosi Proyek Penelitian Generasi Berikutnya Universitas Keio.