研究室の設備 | Tanabe Photonic Structure Group

研究室の研究設備

当研究室の研究設備等の写真を一部を紹介します．

: SAMCO VPE-4F シリコンの等方性エッチング装置 (シリコン犠牲層のエッチングに用いる．研究をスタートするために無理をして購入．)

: COHERENT C-70L 出力70WのCW CO2レーザ (トロイド共振器のレーザーリフロに使用する．研究室スター時の最初の買い物．)

: テーパファイバ作製装置 (ファイバ融着型カップラー製造装置の国内試作第1号機を安価で譲り受けた．PC98だがまだまだ動く優れモノ．)

: レーザリフロ装置 (100 nm位置制御できるxyzステージを用いてCO2レーザを集光するシステムです．レーザリフロを実施するために使用します．)

: Milli-Q 純水製造装置 (超純水を製造する前段階です)

: Milli-Q Elix超純水製造装置 (ウェハを洗浄するための超純水を製造します．電気抵抗が極めて高い水です．)

: YAMATO塩ビドラフトベンチ (酸アルカリのウェットエッチング時の作業代です．研究室を立ち上げ時に導入しました．)

: YAMATO無害化装置 (ドラフトベンチからの空気を洗浄します．天井裏では大型のシロッコファンが稼働しています．)

: 金属顕微鏡1号

: 金属顕微鏡2号

: 実態顕微鏡

: 透過型顕微鏡

: 小型旋盤装置 (結晶共振器の研磨の為に使用しています．)

: 結晶成長装置 (レーザ溶融ペデスタル法で結晶を成長するために使用します．2014年解体中．)

: ガスキャビネット (安全のためガスボンベはキャビネットに格納します)

SANTEC TLD-710

TSL-710-480640-P-F-SP-00-0
波長範囲　：1480-1640nm(160nm)
波長設定精度：<±2pm
波長分解能：0.1pm
光強度：>+6dBm(1480-1640nm)
ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ線幅：<100kHz

Santec TLD-510-A

TSL-510-A-500630-P-F-AP-00-1(≧+8dBm)
波長可変範囲　　：1500-1630nm（130nm）
波長設定精度　　：±100pm
波長再現性　　　：±10pm
設定分解能　　　：5pm(ﾌｧｲﾝﾁｭｰﾆﾝｸﾞ時<1pm)
光出力　　　　　：≧+8dBm(1500-1630nm)
STSSE 　　：≧35dB
SSSE　　　：≧45dB/nm

Santec TLD-510-A

TSL-510-D-500630-P-S-AP-00
【内訳】
波長範囲：1500-1630nm（130nm）
波長設定精度：<±5pm
波長再現性：<±2pm
設定分解能：1pm
光出力：>-4dBm（1500-1630nm）
ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ線幅：<1MHz

New Focus Velocity 6312

Wavelength 765-782 nm
Power 70 mW max @ 773 nm

Femtosecond Fiber Laser FFL (Pritel)

Pulse width: 600 fs
Pulse repetition rate: 20 MHz
Peak Power >100 W
Average output >1 mW
Wavelength tunable 1530 – 1560 nm
PM output w/ PER > 20 dB

QFLD-520-10S

Single Mode Fiber Coupled Laser Diode
QFLD-520-10S with FC/PC connector

He Ne Laser

Surlite Nd:YAG Q-switch laser

DIAMOND C-70L

70W CW炭酸ガスレーザ

低ノイズ・偏波保持光増幅器

LNHP-PMFA-20 (PriTel)

NF < 2.5 dB @ -30 dBm input Output 20 dBm Small signal gain 0 - 45 dB Wavelength 1528-1565 nm PER > 20 dB

偏波保持光増幅器

LNHP-PMFA-18-L

Saturated output power >=30 dBm
Eb/Yb codoped fiber
Wavelength 1535-1565
Signal gain >= 31 dB @ 0 dBm input
NF <= 10 dB PER >=20 dB

LNHP-PMFA-18-L

Low Noise High Power Tandem Polarization Maintaining Optical Fiber
Amplifier with mid-stage access, L-Band, Model
LNHP-PMFA-18-L
18 dBmモデル
Wavelength range = 1565 – 1615 nm
Saturated output power = >18 dBm @ 1590 nm
Small signal gain = 0 to 38 dB, adjustable
Noise figure ≤ 4 dB @ 1590 @ Pin = -30 dBm
Independent control of pre-amplifier and power-amplifier
Mid-stage access