Développement de résonateurs micro-optiques toroïdaux polygonaux.

Au laboratoire Tanabe, des résonateurs micro-optiques silicatroïdes qui confinent fortement la lumière ont été réalisés dans des géométries polygonales. Les structures sont fabriquées par une combinaison de gravure isotrope, de gravure anisotrope et de refusion au laser, et ont atteint le stade où les mesures sont effectuées.

Les résonateurs silicatroïdes classiques ont des performances très élevées, mais leur forme circulaire rend difficile le contrôle de l'efficacité du couplage avec des fibres coniques. On peut s'attendre à ce que le résonateur silicatroïde octogonal nouvellement développé ait une efficacité de couplage stable en raison de sa grande longueur de couplage, et ses coins lisses garantissent une haute performance. Un couplage stable est un facteur important pour les applications pratiques telles que le peigne de fréquence optique et la détection de particules à l'aide de résonateurs silicatroïdes.

Dans ce travail, (1) l'agent de gravure anisotrope KOH (hydroxyde de potassium) a été utilisé comme agent de gravure de la couche sacrificielle de silicium et combiné à une gravure isotrope pour fabriquer la structure (Fig. 1) ; une analyse FDTD a été réalisée et Q = 8,8 × 106 a été obtenu. Il a également été constaté que l'efficacité du collage peut être contrôlée en utilisant différentes parties de bord et de coin (Fig. 2).

Une partie de cette recherche a été financée par le programme de promotion de la R&D en matière d'information stratégique et de communications (SCOPE). Il a également été soutenu par la bourse de recherche Toray Science and Technology et le programme de promotion des projets de recherche de nouvelle génération de l'université Keio.