Modulator EO kristal fotonik dibuat menggunakan proses yang kompatibel dengan CMOS.
Penelitian
Modulator EO kristal fotonik dibuat menggunakan proses yang kompatibel dengan CMOS.
Integrasi modulator elektro-optik pada chip silikon menggunakan kristal fotonik.
Konsumsi daya di pusat data meningkat secara signifikan, dan diharapkan bahwa transmisi jarak menengah hingga jarak dekat dapat dicapai dengan menggunakan cahaya, sehingga secara signifikan mengurangi konsumsi daya. Namun demikian, untuk merealisasikan hal ini, perlu mengembangkan elemen yang mengubah sinyal listrik yang digunakan dalam pemrosesan sinyal menjadi sinyal optik untuk transmisi, dan perlu untuk merealisasikan modulator elektro-optik yang ringkas dan hemat daya. Karena pemrosesan listrik direalisasikan dalam sirkuit CMOS pada chip silikon, maka, idealnya, elemen optik yang terbuat dari silikon yang dapat diintegrasikan ke dalam sirkuit CMOS diperlukan, dan kami sudah mengupayakan masalah ini.
Dalam penelitian ini, kami telah berhasil mengembangkan perangkat yang mengubah sinyal listrik menjadi sinyal optik dengan mengintegrasikan struktur dioda pin ke dalam resonator kristal fotonik menggunakan teknik fabrikasi yang kompatibel dengan CMOS.

Meskipun perangkat serupa telah dilaporkan di masa lalu, perangkat tersebut dibuat secara konvensional dengan teknik yang disebut litografi berkas elektron, yang tidak cocok untuk produksi massal di masa depan dan integrasi dengan perangkat CMOS. Oleh karena itu, kami telah membuat resonator kristal fotonik berkinerja tinggi dengan menggunakan fotolitografi, teknik yang kompatibel dengan CMOS, untuk mengintegrasikan struktur pin. Karena dibuat sepenuhnya dalam silikon, harganya murah dan memiliki sifat modulator optik yang sangat baik.
- Kategori
- 研究トピックス