CMOS 호환 공정으로 제작한 광결정 EO 변조기

데이터 센터의 전력 소비량 증가가 두드러지고 있으며, 중거리~단거리 간 전송을 빛으로 하면 전력 소비를 크게 줄일 수 있을 것으로 기대되고 있다. 그러나 이를 실현하기 위해서는 신호 처리에 사용되는 전기 신호를 전송에 사용되는 광 신호로 변환하는 소자의 개발이 필요하며, 소형의 전력 효율이 높은 전기 광 변조기를 실현할 필요가 있다. 전기 처리는 실리콘 칩상의 CMOS 회로에서 실현되기 때문에, 이상적으로는 CMOS 회로에 집적 가능한 실리콘의 광소자가 필요하며, 우리는 그 과제를 해결하고자 노력해 왔다.

이번에 우리는 CMOS 호환 제작 기법을 이용하여 광결정 공진기에 핀 다이오드 구조를 집적하여 전기 신호를 광 신호로 변환하는 소자를 개발하는데 성공하였다.