실험실 시설 | Tanabe Photonic Structure Group

실험실 연구 장비

본 연구실의 연구 설비 등의 사진을 일부 소개합니다.

: SAMCO VPE-4F 실리콘의 등방성 에칭 장치 (실리콘 희생 층의 에칭에 사용한다.

: COHERENT C-70L 출력 70W의 CW CO2 레이저 (트로이드 공진기의 레이저 리플로에 사용한다.

: 테이퍼 파이버 제작 장치 (화이버 융착형 커플러 제조 장치의 국내 시작 제1호기를 저렴하게 양도받았다.

: 레이저 리플로 장치 (100 nm 위치 제어 가능한 xyz 스테이지를 이용하여 CO2 레이저를 집광하는 시스템입니다.

: Milli-Q 순수 제조 장치 (초순수를 제조하기 전 단계입니다)

: Milli-Q Elix 초순수 제조 장치 (웨이퍼를 세정하기 위한 초순수를 제조합니다. 전기 저항이 매우 높은 물입니다.)

: YAMATO 소금 비드래프트 벤치 (산 알칼리의 습식 에칭시의 작업대입니다.연구실을 시작할 때 도입했습니다.)

: YAMATO 무해화 장치 (드래프트 벤치로부터의 공기를 세정합니다.천장 뒤에서는 대형의 시로코 팬이 가동하고 있습니다.)

: 금속현미경 1호

: 금속현미경 2호

: 실태 현미경

: 투과형 현미경

: 소형 선반 장치 (결정 공진기의 연마를 위해 사용하고 있습니다.)

: 결정 성장 장치 (레이저 용융 페데스탈법으로 결정을 성장하기 위해 사용합니다. 2014년 해체중.)

: 가스 캐비닛 (안전을 위해 가스 실린더는 캐비닛에 저장됩니다)

SANTEC TLD-710

TSL-710-480640-PF-SP-00-0
파장 범위 ：1480-1640nm(160nm)
파장 설정 정확도: <±2pm
파장 분해능 ：0.1pm
광 강도 :>+6dBm(1480-1640nm)
스펙트럼 선폭 : <100kHz

Santec TLD-510-A

TSL-510-A-500630-PF-AP-00-1(≥+8dBm)
파장 가변 범위 : 1500-1630nm(130nm)
파장 설정 정밀도 ：±100pm
파장 재현성 ：±10pm
설정 분해능 : 5pm
광출력 ：≧+8dBm(1500-1630nm)
STSSE ：≧35dB
SSSE ：≧45dB/nm

Santec TLD-510-A

TSL-510-D-500630-PS-AP-00
【내역】
파장 범위 : 1500-1630nm(130nm)
파장 설정 정밀도 : <±5pm
파장 재현성 :<±2pm
설정 해상도 : 1pm
광출력 ：>-4dBm(1500-1630nm)
스펙트럼 선폭 : <1MHz

New Focus Velocity 6312

Wavelength 765-782 nm
전력 70 mW 최대 @ 773 nm

Femtosecond Fiber Laser FFL (Pritel)

Pulse width: 600 fs
Pulse repetition rate: 20 MHz
Peak Power >100 W
Average output >1 mW
Wavelength tunable 1530 – 1560 nm
PM 출력 w/ PER > 20 dB

QFLD-520-10S

Single Mode Fiber Coupled Laser Diode
QFLD-520-10S with FC/PC connector

He Ne Laser

Surlite Nd:YAG Q-switch laser

DIAMOND C-70L

70W CW 탄산 가스 레이저

저잡음 및 편파 유지 광 증폭기

LNHP-PMFA-20 (PriTel)

NF < 2.5 dB @ -30 dBm 입력 Output 20 dBm Small signal gain 0 - 45 dB Wavelength 1528-1565 nm PER > 20 dB

편파 유지 광 증폭기

LNHP-PMFA-18-L

Saturated output power >=30 dBm
Eb/Yb codoped fiber
Wavelength 1535-1565
Signal gain >= 31 dB @ 0 dBm input
NF <= 10dB PER >=20dB

LNHP-PMFA-18-L

Low Noise High Power Tandem Polarization Maintaining Optical Fiber
Amplifier with mid-stage access, L-Band, Model
LNHP-PMFA-18-L
18dBm 모델
Wavelength range = 1565 – 1615 nm
Saturated output power = >18 dBm @ 1590 nm
Small signal gain = 0 to 38 dB, adjustable
Noise figure ≤ 4 dB @ 1590 @ Pin = -30 dBm
Independent control of pre-amplifier and power-amplifier
Mid-stage access