使用CMOS兼容工艺制造的光子晶体EO调制器。

数据中心的耗电量大幅增加，预计中短距离传输可通过光来实现，从而大幅降低耗电量。然而，为了实现这一目标，有必要开发将信号处理中使用的电信号转换成光信号进行传输的元件，并且有必要实现紧凑、高能效的电光调制器。由于电气处理是在硅芯片上的CMOS电路中实现的，因此理想的情况是需要能够集成到CMOS电路中的硅制光学元件。

在这项研究中，我们采用CMOS兼容制造技术，将引脚二极管结构集成到光子晶体谐振器中，成功地开发出一种将电信号转换为光信号的器件。