SPIE Photonics West 2016 Tomohiro Tetsumoto

[9759-7] 利用氦离子束光刻技术制造的单个纳米天线的超快三次谐波光谱学

讲座内容在 FIB 加工技术会议上进行了介绍。研究背景是需要在极小的体积内定位光学模式以实现超快光学晶体管，演讲内容是弓形领带式纳米天线的制造和性能。演讲中介绍了使用 He+ 离子的 FIB。在传统的 FIB 中，加工是通过用 Ga+ 离子轰击结构来进行的，但通过使用 He+ 离子，可以将对结构表面的破坏降到最低，并在报告中介绍了一个令人惊叹的间隙长度为 6 nm 的纳米间隙天线（图 2(a)）。与使用 Ga+ 离子（间隙 = 20 nm）制作的天线相比，使用 He+ 离子制作的天线显示出更高的非线性（图 2(b)）和更好的极化依赖性。该公司是 Microscopy GmbH 公司和比勒费尔德大学的合资企业。这种关系对大学和公司都有利，因为开发的先进技术被有效地用于大学的基础研究，所获得的知识也立即反馈到公司方面。

会议还揭示了 FIB 的一些普遍优缺点：FIB 是一种简单的方法，它不需要光刻，可以直接创建图案，从而实现高精度的微细加工。另一方面，它在挖掘大面积图案方面并不擅长，而且存在图案接缝处缝合不平滑、绘制时间长等问题。虽然我们通常看到的是完成后的美观结构，但有必要考虑离子散射的影响，并消除基底通电的影响。总的来说，这项技术给人的印象仍然是研发型多于工业型，因为它仍然适用于精细图案金属加工，如等离子体研究。

[9759-14] 实现多功能光纤包层光子学和光纤实验室的封装和微结构技术

来自加拿大多伦多大学的演讲。该报告介绍了如何通过飞秒激光光刻技术在光纤中制造波导、液体通道和其他各种光学元件。使用飞秒激光器对玻璃进行改性加工是一个耳熟能详的话题，但像这次这样将各种元素整合在一起的介绍，我还是第一次听说。演讲中还介绍了光纤形状传感等有趣的应用（《光学快报》，21(20), 24076-24086（2013 年）。给我留下深刻印象的是，如果这项技术得到完善，可以有多种用途。事实上，他们似乎正在积极与公司合作，Oz Optics（VOA 旗下公司）就是以下文章的共同作者之一。

[9742-34] 用于光互连的集成纳米光子器件

图 4(a) 显示了该装置的结构，它由一个波导和一个侧耦合环形谐振器组成，谐振器内有八个耦合系数相同的侧耦合波导。有一个侧面耦合到波导上的环形谐振器，谐振器内部有八个耦合系数相同的侧面耦合波导；在八个波导靠近中心的两端制作了光栅，进入这些波导的光最终耦合到空间系统。从环形谐振器进入八根波导的光在不同位置耦合，具有不同的相位关系，因此发射到空间的光成为它们的超模，并具有角轨道动量。具有角轨道动量（光轨道角动量：OAM）的光有许多特征状态，可用于提高数据通信的信息容量。演示文稿显示，环形谐振器每个模式发射的 OAM 光束的形状各不相同（图 4(b)），通过使用移相器（图 4(c)）可以在实验中控制 OAM 光束的形状。科学报告 5, 10958 (2015).)文中提到使用 IME 进行制造（论文中似乎没有提到 IME 用于该元件，因此可能是用于其他设备）。