使用 CMOS 相容製程製造的光子晶體 EO 調變器。
2017-08-01 最後更新 : 2022-09-22 miyahara
研究
使用 CMOS 相容製程製造的光子晶體 EO 調變器。
使用光子晶體在矽晶片上整合光電調變器。
數據中心的耗電量正在顯著增加,預期可以使用光來實現中短距離的傳輸,從而大幅降低耗電量。然而,為了實現這一目標,有必要開發將信號處理中使用的電信號轉換成光信號進行傳輸的元件,並且有必要實現緊湊型、節能的電光調製器。由於電氣處理是在矽晶片上的 CMOS 電路中實現的,因此理想的情況是,需要由矽製成的光學元件能夠整合到 CMOS 電路中,我們一直在研究這個問題。
在本研究中,我們利用 CMOS 相容的製造技術,將針狀二極體結構整合到光子晶体諧振器中,成功開發出可將電子訊號轉換成光學訊號的裝置。

儘管過去已有類似元件的報導,但傳統上都是以電子束光刻技術製造,不適合未來量產及與 CMOS 元件整合。因此,我們利用與 CMOS 相容的光刻技術製造出高性能的光子水晶諧振器,以整合針狀結構。由於完全使用矽製造,因此價格低廉,並具有優異的光調變器特性。
本研究的部分經費由策略性資訊與通訊研發推廣計畫 (Strategic Information and Communications R&D Promotion Programme, SCOPE) 資助。
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