FiO 2017 Tomohiro Tetsumoto

FM3A.1. Kemajuan dalam Platform Fotonik Terpadu Silikon Nitrida pada Silikon Multilayer Joyce K. Poon

Ceramah yang diundang dari Universitas Toronto. Seorang mahasiswa doktoral memberikan presentasi. D. dari University of Toronto memberikan presentasi tentang elemen optik grup seperti skrup kisi, konverter mode, dan modulator pada platform silikon nide yang dibangun di atas substrat silikon. Kelompok ini telah bekerja sama dengan A*STAR untuk membuat struktur multilayer, yang sulit dibuat, dan juga telah membuat struktur yang memerlukan banyak uji coba eksperimental, seperti modulator dengan distribusi pembawa berbentuk U. Platform silikon nida sering digunakan dalam penelitian lanjutan seperti generasi carcom, tetapi saya sering mendengar bahwa ada masalah seperti retak substrat karena perbedaan modulus Young dibandingkan dengan bahan lain, jadi saya pikir mungkin ada berbagai masalah dalam implementasi industri, tetapi penelitian ini sepenuhnya kompatibel dengan CMOS. Namun, penelitian ini dilakukan dengan menggunakan peralatan dan proses yang kompatibel dengan CMOS (meskipun tidak jelas apakah dilakukan pada wafer besar seperti wafer 6 inci dan 8 inci), dan saya telah berubah pikiran tentang keberadaan teknologi yang dapat mengatasi masalah yang saya takutkan.