在光子晶体线缺陷波导中使用随机性的EO调制器。

硅光子学是一个研究领域，它将硅作为一种材料，通过它传播光并处理光信号。与用于光纤的玻璃相比，硅具有更高的折射率，这使得光线被限制在更小的空间内，从而有可能使元件小型化，并以低能量驱动它们。光子晶体是属于硅光子学的元素之一，具有特殊的周期性结构，能够实现比硅材料固有的更强的光限制。利用光子晶体已经实现了各种设备，包括波导、开关、探测器和振荡器。

虽然光子晶体能够实现小型化，但它们很容易受到制造误差的影响。制造误差的绝对量与工艺有关，所以要制造的器件越小，误差的影响就越大。最近，在光子晶体的制造过程中，出现了使用光刻技术而不是传统的EB光刻技术的趋势，后者能够进行大规模生产，但制造精度较低，这也引起了人们对处理制造误差的关注。

在这项研究中，我们努力表明，光子晶体的制造误差的影响可以在结构上得到控制，并以高产量的方式使用。EO调制器被显示为一种潜在的应用，并且在GHz下的操作已被证实。

我们选择了图1(a)所示的结构，称为光子晶体线缺陷波导。光通过中心传播，那里没有洞。为了控制制造误差的影响，波导的宽度被部分缩小[W0.98：图1(a)中的蓝色区域]，这是我们结构的一个特点。当光以红色虚线和箭头所示的频率入射到结构上时，只有当存在一定的制造误差时才会发生光的限制[图1(c)]。这里还应该强调的是，由于波导宽度的变化，光限制只发生在W0.98。尽管这一现象源于制造误差的随机性，但该结构允许控制随机性表现的区域。