FiO 2017 Tomohiro Tetsumoto

FM3A.1.多层硅氮化硅集成光子平台的进展 Joyce K. Poon

多伦多大学特邀演讲。一名博士生作报告。多伦多大学的一名博士生做了关于该研究小组在硅衬底上构建的氮化硅平台上的光栅耦合器、模式转换器和调制器等光学元件的报告。该小组一直在与 A*STAR 合作制造多层结构，这种结构很难制造，而且还制造了需要多次实验的结构，如具有 U 型载流子分布的调制器。氮化硅平台经常被用于车载通信生成等高级研究中，但我经常听说，由于杨氏模量与其他材料不同，会出现基片开裂等问题，因此我认为在工业实施中可能会出现各种问题，但这项研究完全兼容 CMOS。不过，这项研究是使用与 CMOS 兼容的设备和工艺进行的（但不清楚是否在 6 英寸和 8 英寸等大型晶圆上进行），因此我改变了想法，认为存在可以消除我所担心的问题的技术。