FiO 2017 鐵本智博

FM3A.1.多層硅氮化矽集成光子平台的進展 Joyce K. Poon

多倫多大學邀請演講。博士生發表簡報來自多倫多大學的博士生做了一個演講，介紹了該組在矽基礎上建立的矽化物平台上的光柵耦合器、模式轉換器和調制器等光學元件。該研究小組一直與 A*STAR 合作製造很難製造的多層結構，也製造了需要許多實驗試驗的結構，例如具有 U 型載流子分佈的調變器。氮化矽平台常被用於carcom generation等先進研究中，但常聽說會有基板因楊氏模數與其他材料不同而開裂等問題，所以原以為在工業實作上可能會有各種問題，但本研究是完全相容於CMOS的。然而，本研究是使用與 CMOS 相容的設備與製程進行的（雖然不清楚是否在 6 吋與 8 吋等大型晶圓上進行），因此我改變了想法，認為存在可以清除我所擔心的問題的技術。