FiO 2017 Tomohiro Tetsumoto

FM3A.1. Progressi nelle piattaforme fotoniche integrate multistrato di nitruro di silicio su silicio Joyce K. Poon

Intervento su invito dell'Università di Toronto. Uno studente di dottorato ha tenuto una presentazione. Uno studente di dottorato dell'Università di Toronto ha presentato gli elementi ottici del gruppo, come accoppiatori a griglia, convertitori di modalità e modulatori su una piattaforma di nuro di silicio costruita su un substrato di silicio. Il gruppo ha collaborato con A*STAR per fabbricare strutture multistrato, difficili da realizzare, e ha anche fabbricato strutture che richiedono molte prove sperimentali, come i modulatori con una distribuzione dei portatori a forma di U. Le piattaforme al nuro di silicio sono spesso utilizzate nella ricerca avanzata, come la generazione di carcom, ma ho spesso sentito dire che ci sono problemi come la fessurazione del substrato a causa della differenza del modulo di Young rispetto ad altri materiali, quindi ho pensato che ci potessero essere vari problemi nell'implementazione industriale, ma questa ricerca è completamente compatibile con il CMOS. Tuttavia, questa ricerca è stata condotta utilizzando apparecchiature e processi compatibili con i CMOS (anche se non è chiaro se sia stata condotta su wafer di grandi dimensioni, come quelli da 6 e 8 pollici), e ho cambiato idea sull'esistenza di una tecnologia in grado di eliminare i problemi che temevo.