ウィスパリングギャラリーモードマイクロキャビティレーザーは、高いQ値やコンパクトな形状などの顕著な特性を備えており、マイクロレーザーの進化において不可欠な要素となっています。 しかし、固体ウィスパリングギャラリーモードレーザーは、これまで出力が低く、光変換効率が限られているため、その応用が妨げられてきました。 ここでは、固体ウィスパーリングギャラリーモードレーザーから波長1.06 μmでミリワットのレーザー放射を達成したことを紹介します。 これを達成するために、Nd: YAG 結晶の炭素注入強化エッチングによって得られた結晶性Nd: YAG 薄膜を使用して、ウィスパリング ギャラリー モードのマイクロキャビティ (直径 30 μm) を作製します。 このマイクロキャビティレーザーは、最大出力1.12 mW、光変換効率12.4%を発揮します。 さらに、当社独自の偏心マイクロキャビティ設計により、自由空間ポンプ光の効率的な結合が可能となり、導波路との統合が容易になります。 この統合により、導波路からの単一波長レーザーの発光が可能となり、出力0.5 mW、光変換効率6.18%を達成しました。 この研究は、固体ウィスパリングギャラリーモードレーザーの進歩に新たな可能性をもたらし、コンパクトな光源の選択肢を提供します。