CMOS互換プロセスで作製したフォトニック結晶EO変調器

データセンターにおける電力消費量の増加は著しく，中距離～短距離間の伝送を光で行うことで大幅な電力消費の低減ができると期待されています．しかしその実現には，信号処理で用いられる電気信号を伝送に用いる光信号に変換する素子の開発が必要であり，小型で電力効率の高い電気光変調器を実現する必要があります．電気処理はシリコンチップ上のCMOS回路で実現されるため，理想的にはCMOS回路に集積可能なシリコン製の光素子が必要であり，我々はその課題に取り組んできました．

今回，我々はCMOS互換作製手法を用いて，フォトニック結晶共振器にpinダイオード構造を集積することで，電気信号を光信号に変換する素子の開発に成功しました．